1981’de IBM’in Zürih laboratuvarında icat edilen taramalı tünelleme mikroskobu, bir yüzeydeki atomları tek tek gösterebilir. Aygıt iğne gibi sivri bir ucu örneğin hemen üzerinde gezdirir ve aradaki boşluktan sızan çok küçük elektrik akımını ölçer; bu akım uzaklıkla birlikte çok hızlı değişir.

Kartın devamı

Gündelik fizikte bir elektron boş bir aralıktan geçemez; ama aralık metrenin milyarda biri kadar daraldığında kuantum mekaniği bazı elektronların yine de öbür yana geçmesine izin verir. Buna tünelleme denir. Uç ile yüzey arasındaki mesafe nanometrenin onda biri kadar arttığında akım yaklaşık on kat düşer; bu yüzden ucun yüksekliği olağanüstü bir hassasiyetle denetlenebilir. Tarama sırasında bir geri besleme sistemi akımı sabit tutar; ucun kaydedilen yüksekliği yüzeyin haritasını çıkarır. Yöntem yalnızca elektriği ileten örneklerde işe yarar. Gerd Binnig ile Heinrich Rohrer ilk çalışan aygıtı 1981’de yaptı; 1983’te bir silisyum yüzeyini atom atom gösteren bir görüntü yayımladılar. 1986 Nobel Fizik Ödülü’nü elektron mikroskobunun mucidi Ernst Ruska ile paylaştılar. 1989’da IBM araştırmacıları böyle bir uçla şirketin adını 35 ksenon atomuyla yazdı.